다층 나노임프린트 리소그래피 공정장비 기술

이재종; 최기봉; 김기홍; 박수연

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이재종 최기봉 김기홍 박수연

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.6

발행연도: 2009.6

수록면: 21 - 25 (5page)

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