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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
최종구 (상지대학교) 이상석 (상지대학교) 박영석 (블루엠테크)
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제22권 제5호
발행연도
2012.10
수록면
173 - 177 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2017

바이오센서용 3가지 나선형 코일과 이중구조 GMR-SV 소자 제작과 특성 연구
최종구 ,  정훈모 ,  이상석 한국자기학회지 2017.12 학술저널

2012

미크론 자성비드 검출용 바이오센서에 대한 고감도 GMR-SV 소자의 제작과 특성 연구
최종구 ,  박광준 ,  이주형 외 2명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2012.11 학술대회자료
미크론 자성비드 검출용 바이오센서에 대한 고감도 GMR-SV 소자의 제작과 특성 연구
최종구 ,  이상석 ,  박영석 한국자기학회지 2012.10 학술저널

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미크론 자성비드 검출용 바이오센서에 활용하는 GMR-SV 박막을 이온빔 스퍼터링 증착법으로 glass/Ta(5.8 nm)/NiFe(5 nm)/Cu(t nm)/NiFe(3 nm)/FeMn(12 nm)/Ta(5.8 nm)의 구조를 갖도록 증착하였다. 비자성체 Cu의 두께가 3.0 nm에서 2.2 nm까지 얇아질수록 교환결합력은 증가하였고 자기저항비는 다소 감소하였다. 비자성체의 두께가 얇으면 반강자성체의 층간 교환작용이 강자 성체의 고정층뿐만 아니라 자유층의 스핀배열에도 영향을 주고 있음을 확인할 수 있었다. 또한 리소그래피 공정 과정을 거쳐 GMR-SV 소자를 제작하여 미크론 자기비드를 검출하였다. 여기서 자기비드를 떨어뜨리기 전과 후의 자기저항비, 교환결합력, 보자력은 각각 0.9%, 3Oe, 2 Oe의 값을 나타내었다. 이러한 결과로 나노 단위의 바이오센서에 활용할 수 있는 가능성을 보여주었다.
#바이오센서 #자성비드 #거대자기저항-스핀밸브 #소자 #이온빔 스퍼터링 #리소그래피 #자기저항비 #biosensor #magnetic bead #giant magnetoresistance-spin valve (GMR-SV) #device #ion beam sputtering deposition(IBD) #lithography #magnetoresistance ratio

목차

I. 서론
Ⅱ. GMR-SV 박막의 제작과 자기저항 특성
Ⅲ. GMR-SV 소자의 제작
IV. GMR-SV 소자를 이용한 자성비드 검출과 특성
V. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - D. A. Baker / 2000 / / Nature 405 : 39 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - G. Li / 2006 / / Sens. Acut. A 126 : 98 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - D. L. Graham / 2005 / / Sens. Acut. B 107 : 936 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - B. M. de Boer / 2006 / / Biosens. Bioelectron 22 : 2366 ~ google schola 5. [단행본] - S. X. Wang / 1999 / Magnetic Information Storage Technology / Academic Press google schola

이 논문의 저자 정보

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