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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.12
- 수록면
- 215 - 220 (6page)
- DOI
- 10.4283/JKMS.2017.27.6.215
이용수
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반강자성체 IrMn 기반 이중구조 GMR-SV 박막을 리소그래피 공정과 Ar-이온 밀링 공정, 그리고 lift-off 공정을 거쳐 바이오센서용 소자와 코일을 제작하였다. Cu 박막을 적층하여 회전수가 각기 다르게 패턴한 3가지 나선형 코일을 폭이 2 ㎛인 GMRSV 소자 위 중심에 놓이게 하였다. 하부층 나선형 코일의 중심 끝과 상부층 코일 전극이 겹치는 부분이 분리되도록 부도체 층인 SiO₂ 박막을 100 ㎚를 증착하였다. 각각 두번, 세번, 네번으로 감은 코일에 동일한 dc 전류를 10 ㎃까지 인가하였을 때, 코일 평면의 수직 방향인 코일의 중심부 z = 0 점에서 자기속 밀도의 최대값은 각각 1820 μT, 2400 μT, 3090 μT이었다. GMR-SV 소자를 2단자로 측정한 자기저항비는 2.08 %이었고 거의 선형적인 히스테리시스 특성을 유지한 채 평균 자장감응도는 0.2 %/Oe 이하로 나타내었다. 적혈구의 표면에 흡착된 여러 개의 자성비드들이 8 ㎛ 폭 크기의 PR 채널로 지나 통과할 때 각각 두번, 세번, 네번으로 감은 코일에 인가되는 전류로 자기장으로 발생시켜 정지시킨 후, GMR-SV 소자의 출력신호값으로 검출될 수 있는 가능성을 보여주었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험결과 및 논의
Ⅳ. 결론
References
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
[단행본] - S. X. Wang / 1999 / Magnetic Information Storage Technology / Academic Press
[학술지(정기간행물)] - M. D. Cubells-Beltrán / 2016 / / Sensors 16 : 939 ~
[학술지(정기간행물)] - G. Li / 2006 / / Sens. Acut. A 126 : 98 ~
[학술지(정기간행물)] - S. H. Hong / 2009 / / Physics and High Technology 18 : 16 ~
[학술지(정기간행물)] - W. Wang / 2014 / / Sci. Rep 4 : 5716 ~
[학술지(정기간행물)] - M. D. Cubells-Beltrán / 2016 / / Sensors 16 : 939 ~
[학술지(정기간행물)] - G. Li / 2006 / / Sens. Acut. A 126 : 98 ~
[학술지(정기간행물)] - S. H. Hong / 2009 / / Physics and High Technology 18 : 16 ~
[학술지(정기간행물)] - W. Wang / 2014 / / Sci. Rep 4 : 5716 ~
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