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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS 2001
발행연도
2001.10
수록면
2,766 - 2,770 (5page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 파장 주사 간섭계(Wavelength Scanning Interferometry) 측정 원리
3. 정밀 위상 측정 알고리즘
4. 정밀 위상 측정 알고리즘을 이용한 단차 표면 형상 측정
5. 결론 및 향후과제
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