메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
고국원 (선문대학교) 조수용 (선문대학교) 김민영 (고영 테크놀로지)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제14권 제6호
발행연도
2008.6
수록면
519 - 522 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (6)

2013

반도체 Bump 검사를 위한 백색광 주사 간섭계의 고속화
고국원 ,  심재환 ,  김민영 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013.07 학술저널

2010

반도체 bump 측정을 위한 고속 백색광 위상 간섭계 개발
고국원 ,  심재환 ,  서상준 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료
반도체 bump측정을 위한 고속 백색광 위상 간선계 개발
고국원 ,  심재환 ,  노희진 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.10 학술대회자료
반도체 bump측정을 위한 고속 백색광 위상 간섭계 개발
고국원 ,  심재환 ,  노희진 외 1명 정보 및 제어 논문집 2010.10 학술대회자료

2008

백색광 간섭계의 정밀도 향상을 위한 노이즈 제거 방법
고국원 ,  조수용 ,  김민영 제어로봇시스템학회 논문지 2008.06 학술저널

2007

백색광 간섭계를 이용한 LCD Glass 의 Pole 높이 측정 검사
고국원 ,  고경철 ,  김종형 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.04 학술저널

초록· 키워드

오류제보하기
As industry of a semiconductor and LCD industry have been rapidly growing, precision technologies of machining such as etching and 3D measurement are required. Stylus has been important measuring method in traditional manufacturing process. However, its disadvantages are low measuring speed and damage possibility at contacting point. To overcome mentioned disadvantage, non-contacting measurement method is needed such as PMP(Phase Measuring Profilometry), WSI(white scanning interferometer) and Confocal Profilometry. Among above 3 well-known methods, WSI started to be applied to FPD(flat panel display) manufacturing process. Even though it overcomes 2π ambiguity of PMP method and can measure objects which has specular surface, the measuring speed and vibration coming from manufacturing machine are one of main issue to apply full automatic total inspection. In this study, We develop high speed WSI system and algorithm to reduce unknown noise. The developing WSI and algorithm are implemented to measure 3D surface of wafer. Experimental results revealed that the proposed system and algorithm are able to measure 3D surface profile of wafer with a good precision and high speed.
#WSI(White Light Scanning Interferometry) #in-line equipment #anti-vibration #3D measurement

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 백색광 주사 간섭계
Ⅲ. 간섭 무늬 해석 방법
Ⅳ. 진동 해석 및 제거법
Ⅴ. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [학위논문] - 강민구 / 1999 / 백색광 주사 간섭계를 이용한 표면 측정 알고리즘에 관한 연구 / 박사 / 한국과학기술원 google schola 2. [학위논문] - 박민철 / 2000 / 백색광 주사간섭계의 측정정밀도 개선에 대한 연구 / 박사 / 한국과학기술원 google schola 3. [학술대회논문] - 민경일 / 2000 / 백색광 간섭계의 봉우리 찾기 셈법 비교 / Hankook Kwan호마 Hoeji google schola 4. [학술지(정기간행물)] - A. Hirabavashi / 2002 / Fast surface profiler by white-light interfrometry by use of a new algorithm base on sampling thory / APPLIED OPTICS 41 (23) google schola 5. [학술대회논문] - K, Creath / 1997 / Sampling requirements for white-light interfrometry / Proc. Fringe’97 : 52 ~ 59 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

반도체 Bump 검사를 위한 백색광 주사 간섭계의 고속화
고국원 ,  심재환 ,  김민영 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013 .07
Wafe Warpage 검사를 위한 고속 공초점 시스템 개발
심재환 ,  고국원 ,  김민영 정보 및 제어 논문집 2012 .10
대면적 백색광 간섭계의 3D-Data 연산 고속화에 관한 연구
심재환 ,  고국원 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06
백색광 위상천이 간섭계를 위한 개선된 삼차원 형상 측정 방법
김경일 ,  이동열 ,  고윤호 전자공학회논문지-SP 2010 .03
백색광 간섭계의 위상 정점 알고리즘에서 조명에 따른 위상 정점 모호성에 관한 연구
김기홍 ,  이형석 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008 .01

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-569-001395298