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요약
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토론
4. 결론
참고문헌
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반도체 제조공정을 위한 새로운 생산일정 알고리즘
제어로봇시스템학회 논문지
1998 .12
반도체 공정에서의 환경친화형 프로세스
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .09
반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2001 .11
반도체 생산공정에서의 미립자 측정 및 분석 기술 ( Particle Measurement and Analysis in Semiconductor Manufacturing Process )
대한기계학회지
1995 .05
반도체 제조공정의 효율적 생산관리를 위한 시뮬레이터 개발
산업공학 (IE interfaces)
1995 .11
반도체 디바이스 제조 공정에서의 전기화학적 현상
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
반도체용 화학재료 및 패턴형성 공정
고분자 과학과 기술
1996 .12
플라즈마를 이용한 대기 오염물 처리 기술
기계저널
1998 .04
전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 삼불화질소(NF₃) 분해
대한환경공학회지
2012 .06
반도체공정에서 사용되는 화학물질의 반응위험성 평가
한국가스학회 학술대회논문집
2015 .07
화학공정에 있어서의 대규모공정 해석방법 ( A Study on The Techniques of Large Scale Chemical Process System Analysis )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
화학공정에 있어서의 대규모공정 해석방법
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1986 .10
체감대기환경개선을 위한 인천의 지역별 정책방안 연구
환경관리학회지
2007 .06
반도체 습식 공정에서의 미세 오염 제어
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
지역대기질보전측면에서의 대기질관리방안에 대한 연구
환경관리학회지
2001 .12
반도체 제조에 있어서의 품질공학 : 패터닝 공정과 박막형성 공정을 중심으로
산업공학 (IE interfaces)
1997 .03
반도체 제조공정의 암모니아가스 제거용 화학첨착흡착제 제조공정개발
대한환경공학회 학술발표논문집
2007 .12
습식 공정을 이용한 마이크로 패턴 표면의 금속 복제 공정 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
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