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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.11
- 수록면
- 1,562 - 1,566 (5page)
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Heated microcantilever is an atomic force microscope cantilever that can offer highly localized heating near the scanning tip thus enables nanoscale manufacturing and metrology. The micro-Raman spectroscopy typically used for thermal characterization of heated microcantilevers requires about 10 seconds for a single measurement. Due to such limited temporal resolution, the micro-Raman spectroscopy is not suited for dynamic characterization of heated microcantilevers. To enable dynamic electrothermal characterization, we employ the scanning thermoreflectance microscopy that is a non-contact thermal measurement technique. With this method, heated microcantilevers are well characterized during both DC and AC operation. Interestingly, thermal cut-off frequency of the tested heated microcantilever near ~1 ㎑ is experimentally observed.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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