극초단 펄스 레이저가 입사된 박막 구조의 마이크로스케일 열적-광학적 특성 연구

심형섭; 이성혁

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 심형섭 이성혁 (중앙대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집

발행연도: 2008.5

수록면: 55 - 62 (8page)

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This paper is devoted to investigate numerically the microscale thermo-optical characteristics in thin metal and semiconductor films irradiated by ultrashort pulse laser. For metal films, the two temperature model (2TM) is used, and the quantum effects are included. For silicon films, two different models such as the 2TM and the three temperature model (3TM) are utilized and they are compared with each other. In addition, the extended two-dimensional equations of 2TM and 3TM are established for the prediction of crater shapes and ablation depths. For gold films, it is found that thermo-optical properties vary considerably with temperature because of quantum effects during the laser irradiation. For silicon film irradiated by ultrashort pulse laser, it is observed that non-equilibrium state occurs between LO and acoustic phonons for femtosecond pulse lasers because the pulse duration is shorter than LO phonon-acoustic phonon energy relaxation time.

#Ultrashort Pulse Laser(극초단 펄스 레이저) #Thin Film(박막) #Microscale Energy Transfer(미세 에너지 전달) #Optical Characteristics(광특성) #2-Temperature Model(2-온도 모델) #3-Temperature Model(3-온도 모델)

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