[특집 ： MEMS 기술] MEMS 기술의 개요

최창경 ,  도덕희

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

MEMS ( Micro Electro Mechanical System ) 기술의 동향

신상모

전자공학회지

1997 .10

MEMS 기술의 소개 및 응용

김용협 ,  연순창

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

MEMS 기술

엄태준

기계저널

2007 .05

MEMS 기술의 센서 응용

문성욱

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

2001 .11

단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발

성기은 ,  유지영 ,  이세헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

MEMS 기술의 광학적 응용

문성욱

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10

위성 소형화를 위한 초미세 전기기계시스템(MEMS)의 기술개발 현황

이인택 ,  김대원 ,  이호영 외 1명

한국항공우주학회지

2005 .05

MEMS : From Research to Applications

H. Sandmaie ,  W. Lang

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

MEMS 기술에 의한 광스위치의 제조 ( Fabrication of Optical Switches Using MEMS Technology )

강호관 ,  문성욱 ,  임상호 외 4명

한국통신학회 기타 간행물

1998 .01

생산기술로서의 MEMS

이승섭

기계저널

2009 .03

MEMS 제작기술을 이용한 미세 힘센서 설계 및 제작

김종호 ,  조운기 ,  박연규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

MEMS 기술의 엑츄에이터 응용

문성욱 ,  김종용 ,  신현준

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

2002 .10

MEMS 기술동향

백경갑 ,  주병권

전기의세계

2006 .10

광응용 MEMS 기술의 동향

부종욱

전기의세계

2000 .12

의료에서의 센서와 MEMS 기술 응용

이상훈

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

The Estimation of MEMS Properties

Jeongick Lee

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2008 .01

마이크로위성 탑재를 위한 MEMS 추력기의 환경시험

한성현 ,  강수진 ,  장수은 외 3명

한국추진공학회 학술대회논문집

2014 .12

MEMS 기술과 군수산업 ( MEMS Technology in Military Application )

문홍기 ,  임재욱 ,  이진승

전자공학회지

2001 .03

A Study on Modeling and Simulation of Electro-statically Driven Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

Ho-mun Si ,  Ohseob Kwon ,  Chongdu Cho

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11