식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각 특성 비교 연구

이종호 ,  이종길 ,  전병희

소성·가공

2004 .04

KrF 엑시머 레이저를 이용한 용융실리카의 미세 습식 식각가공

백병선 ,  이종길 ,  전병희 외 1명

소성·가공

2002 .11

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

염화제이철 수용액에 의한 스테인레스 강판의 식각에 관한 연구

이형민 ,  박무룡 ,  박광호 외 1명

화학공학

2012 .01

레이저습식각을 이용한 용융실리카의 미세구멍가공

백병선 ,  이종길 ,  전병희

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

실리카 식각공정 기술동향

박상호 ,  성희경 ,  최태구

[ETRI] 전자통신동향분석

1999 .02

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

스퍼터링 증착 조건에 따른 금속 박막의 습식 식각율

허창우

한국정보통신학회논문지

2010 .06

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각

이재복 ,  홍경일 ,  오세훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

금속보조 습식식각공정에 의해 제조된 균일한 실리콘 나노와이어의 구조적 특성 분석

백수웅 ,  최광일 ,  이우형 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2013 .11

실리콘 게르마늄의 선택적 습식 식각에 대한 연구

윤장근 ,  박세환 ,  박일한 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

레이저 식각을 이용한 광투과성 소재의 미세가공

백병선 ,  이종길 ,  김헌영 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2002 .10