정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석

정강식; 문승재; 유홍희

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정강식 문승재 유홍희

저널정보: 한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제15권 제2호

발행연도: 2005.2

수록면: 199 - 205 (7page)

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2005

정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회논문집 2005.02 학술저널

2004

정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2004.11 학술대회자료

정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회논문집 2004.09 학술저널

정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2004.05 학술대회자료

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The governing equations of micro double cantilever beam structures interacted by electrostatic forces are obtained employing Galerkin's method based on Euler beam theory. Variations of static and dynamic responses as well as natural frequencies are estimated for applied voltages. In particular, it is investigated how the variations of beam properties resulted by manufacturing process influence the deflections and the modal characteristics. This study can help to design MEMS structures and to predict the performances with respect to manufacturing tolerances.

#구조 동역학 #마이크로 전자기계 시스템 #모드 해석 #외팔 보 #정전기력 #Cantilever Beam #Electrostatic Force #MEMS #Modal Analysis #Structural Dynamics

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[학술지(정기간행물)] - / 1998 / Micro- machined Transducers Sourcebook : 278 ~ 281

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / "Electrostatic Actuator with Novel Shaped Cantilever ( ) : 223 ~ 227

[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Analytical Modeling for Determination of Pull-in Voltage for An Electrostatic Actuated MEMS Cantilever Beam : 233 ~ 238

[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Calculation of Pull-in Voltages for Carbon- nanotube-based Nanoelectromechanical Switches : 120 ~ 131

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / "Feedback Control of Vibration in a Micromachined Cantilever Beam with Electrostatic Actuators : 537 ~ 550

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정강식

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