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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
2,631 - 2,636 (6page)

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Micro cantilevers are significant structure in MEMS devices. the beam deflection and its characteristics have been studied for various purposes. In this study, expending bubble from thermal surface can exert force to micro cantilever beam and make deflection. Cantilevers were fabricated with 〈100〉 n-type silicon wafer and its thickness varies from 10 micron to 30 micron with different geometries (length, width, and tip shapes). We observed beam deflections with various bubble generations and simple analysis of bubble-beam interaction were performed. Modeling shows good matches with experimental data in micro size.
#Micro-beam(마이크로 빔) #Thermal bubble(열기포) and cantilever fabrication(빔가공)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 소개 및 실험 방법
3. 캔틸레버 변형의 이론적 모델링
4. 실험 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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