레이져 바이브로 미터와 MSC/NASTRAN을 이용한 나노 임프린팅 스테이지의 진동 실험 및 해석

이성훈; 이정석; 정재일; 임홍재

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이성훈 이정석 정재일 임홍재

저널정보: 한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2009년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2009.11

수록면: 433 - 434 (2page)

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