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저자정보
이용훈 (국민대학교) 이정석 (국민대학교) 정재일 (국민대학교) 임시형 (국민대학교) 임홍재 (국민대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
1,261 - 1,264 (4page)

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XYθ stage for large area UV nano-imprinting lithography is modeled. Based on vibration tests by using a laser vibrometer, the equivalent multibody modeling for stage is established. To analyze vertical vibration which is caused during alignment control, some of the parts are converted into flexible bodies and then alignment control for the translation and angle offset cancellation is performed. The vertical vibration during the control action is analyzed with respect to supporter types of the stage and is compared to each other. The performed analysis can provide useful information for development of a high precision nano-imprinting stage.
#Stage alignment control(스테이지 정렬제어) #Supporter type(지지방식) #Vertical vibration(수직진동)

목차

Abstract
1. 서론
2. 진동 실험을 통한 모델링검증
3. 스테이지 정렬제어
4. 결론
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