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Dc 마그네트론 스퍼터링법으로 자기저항비 5.0 %와 자장감응도 1.5 %/Oe를 갖는 glass/Ta(5.8 nm)/NiFe(5 nm)/Cu(2.3 nm)/NiFe(3 nm)/IrMn(12 nm)/Ta(5.8 nm) 다층구조 GMR-SV 박막을 증착하였다. 광 리소그래피 공정으로 적혈구 직경 크기인 7 μm~8 μm 이내의 선폭인 GMR-SV 소자를 제작하였다. 직경 1 μm 크기인 여러 개의 자성비드가 결합된 적혈구를 자기저항비 1.06 % 자장 감응도 0.3 %/Oe를 갖는 GMR-SV 소자에 떨어뜨려 ?0.6 Oe 부근에서 약 0.4 Ω과 약 0.15 %의 변화를 관찰하였다. 본 연구로부터 미크론 크기의 선폭을 갖는 GMR-SV 소자가 자성비드를 결합한 적혈구내 헤모글로빈의 새로운 자성 특성을 분석하는 바이오센서로 활용할 수 있음을 보여주었다.
목차
I. 서론
II. GMR-SV 박막 특성과 바이오 소자 제작 방법
III. 자성비드와 결합한 적혈구의 형태학적 특성과 검출 특성 관찰
IV. 결론
References
참고문헌 (17)
참고문헌 신청
1. [단행본] - S. X. Wang. / 1999 / Magnetic Information Storage Technology / Academic Press
2. [학술지(정기간행물)] - D. A. Baker / 2000 / / Nature 405 : 39 ~
3. [학술지(정기간행물)] - R. Elghanian. / 1997 / / Science 277 : 1078 ~
4. [학술지(정기간행물)] - Y. Cui. / 2001 / / Science 293 : 1289 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. H. Hong. / 2009 / / Physics and High Technology 18 : 16 ~
2. [학술지(정기간행물)] - D. A. Baker / 2000 / / Nature 405 : 39 ~
3. [학술지(정기간행물)] - R. Elghanian. / 1997 / / Science 277 : 1078 ~
4. [학술지(정기간행물)] - Y. Cui. / 2001 / / Science 293 : 1289 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. H. Hong. / 2009 / / Physics and High Technology 18 : 16 ~
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