Silicon Containing Positive Resist for ArF Excimer Laser Lithography

이해원 ,  김영대 ,  강영종 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .10

Antireflective Coating of Fluorinated Silicon Nitride for KrF Excimer Laser Lithography

전병혁 ,  한상수 ,  이준성 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Resist Development Process for Sub-0.15 mm Lithography by KrF Imaging

K. Matsunaga ,  D. Kawamu ,  a 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Excimer Laser Lithography Equipment

이종현

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

KrF excimer laser 열처리를 이용하여 만들어진 확산 n+/p 접합에서 2차원적 불순물 분포에 관한 연구

최철종 ,  한명근 ,  이성훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Silicon Containing Photoresists for ArF Excimer Laser Lithography

Young Dae Kim ,  Sang Jin Pa ,  k 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

ArF Excimer Laser Lithography

Masa ,  u Sasago

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

SUB-QUARTER MICRON LITHOGRAPHY : KrF EXCIMER LASER STEPPER WITH DUMMY DIFFRACTION MASK

Doh Hoon Kim ,  Byung Sun Pa ,  k 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

안성남 ,  강영종 ,  이해원 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1996 .10

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

강영종 ,  이해원 ,  김웅렬 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .04

방전여기 KrF 엑사이머 레이저의 증폭특성 ( A Study of Amplification for Discharge Excited KrF Excimer Laser )

김수경 ,  최부연 ,  이주희

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

표면예비전리 방식을 사용한 KrF 엑사이머 레이저의 개발

박홍진 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

전자빔 여기 KrF 레이저 특성에 관한 연구 (Ⅱ)

최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1985 .07

Study of Bottom Antireflective Coating Process Using a High-Transparency Resist for ArF Excimer Laser Lithography

Shinji Kishimu ,  a ,  Makoto Takahashi 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

방전여기 KrF 엑사이머 레이저의 예비전리 영향에 관한 연구

김상욱 ,  최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

전자 빔 여기 KRF 레이저 특성에 관한 연구 ( 1 ) ( Characteristics of Electron Beam Excited KRF Laser ( 1 ) )

이영우 ,  이주희 ,  김웅

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Excimer laser를 이용한 글라스의 기계적 특성

이강택 ,  문필용 ,  진현주 외 2명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2005 .10

Illumination Condition and Mask Bias for 0.18 mm Pattern with KrF Lithography

H. Tabuchi ,  Y. Shichijo ,  I. Okabe 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

KrF 엑시머 레이저를 이용한 용융실리카의 미세 습식 식각가공

백병선 ,  이종길 ,  전병희 외 1명

소성·가공

2002 .11

용량이행형 KrF 레이저의 방전특성 해석

崔富淵 ,  鄭在根 ,  李柱熙

전기학회논문지

1989 .10