지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.4
- 수록면
- 719 - 730 (12page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
-
클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
-
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
-
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
-
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
-
비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2021 .06
-
Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
-
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
-
웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
-
고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
-
양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2016 .04
-
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
-
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발
Proceedings of KIIT Conference
2021 .11
-
데이터 전처리를 통한 웨이퍼 맵 분석 최적화
한국정보과학회 학술발표논문집
2024 .06
-
센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2021 .06
-
웨이퍼 레벨 하이브리드 본딩을 위한 초정밀 웨이퍼 Align/Attach 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
-
웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템
Proceedings of KIIT Conference
2023 .11
-
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
-
챔버 내 웨이퍼 지연을 고려한 다중 슬롯 클러스터 장비의 구조 설계 및 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2019 .04
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-530-001307166