지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
2019
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
다중 슬롯 클러스터 장비의 모델링 및 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2017 .04
웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
1주기 챔버 클리닝이 포함된 양팔 클러스터 장비에서의 피드백 제어기 설계 및 웨이퍼 지연 제어 효과 분석
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2021 .11
1주기 챔버 클리닝이 포함된 클러스터 장비에서 웨이퍼 지연 제어를 위한 Kanban 피드백 제어 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2020 .11
양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2016 .04
강화학습을 이용한 웨이퍼의 품질과 다품종 생산을 고려하는 반도체 제조 장비 스케줄링
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2021 .11
센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2021 .06
다중 슬롯 클러스터 장비의 페트리 넷 모델링 및 운영 효율성 분석
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2017 .11
1주기 챔버클리닝을 실시하는 양팔 클러스터 장비 운용을 위한 K-웨이퍼 주기 시퀀스
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2024 .10
이중 슬롯 안테나를 갖는 챔버의 구조 변화에 따른 웨이퍼 온도 균일도 개선
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
Equipment Front-End Module을 포함한 다중 슬롯 클러스터 장비에 대한 EFSM 모델링
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2019 .11
자가 지도학습을 이용하여 데이터 불균형을 고려한 웨이퍼 빈 맵 불량 패턴 클러스터링 방법 연구
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
챔버클리닝을 실시하는 한팔 클러스터 장비 운용을 위한 backward operation 배치 전략
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
Modeling Transient period of cluster tool with the minimum number of wafers
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2015 .04
클리닝이 포함된 반도체 제조용 양팔 클러스터 장비에서의 웨이퍼 지연 감소를 위한 Kanban 피드백 제어 Case Study
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2019 .11
클러스터 툴의 비주기적 스케줄링을 위한 강화학습 방법론
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2023 .05
유연생산시스템 최적 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
유전 알고리즘을 활용한 다중 조립공정 스케줄링
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2019 .11
0