Analysis of Fabry-Perot dip shift by selective etching of GaAs/AlGaAs selective etching layer

이용우; 주건우; 배성현; 최희주; 이용탁

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저자정보: 이용우 (광주과학기술원) 주건우 (광주과학기술원) 배성현 (광주과학기술원) 최희주 (광주과학기술원) 이용탁 (광주과학기술원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 252 - 253 (2page)

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