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급속열산화법에 의한 실리콘 산화막의 특성 ( Characteristics of Silicon Oxide Films Grown by Rapid Thermal Oxidation )
전자공학회논문지-A
1991 .12
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )
전자공학회지
1979 .03
급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development and Application of Rapid Thermal Process System )
전자공학회논문지
1988 .09
다공질 실리콘의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
급속열처리에 의한 불소화실리콘산화막의 표면처리효과
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
다공질 실리콘 ( Porous Silicon ) 의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )
전자공학회논문지
1990 .10
$N_2$O 분위기에서 RTP로 제조한 실리콘 산화막의 산화 반응
한국재료학회지
1993 .01
표면 보호막 생성에 Rapid thermal oxidation을 이용한 실리콘 솔라셀
대한전자공학회 학술대회
2013 .11
화학적 산화막을 이용한 에미터 패시베이션에 관한 연구
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .06
저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조
화학공학
2008 .01
실리콘 산화막을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막트랜지스터 제작 ( Fabrication on Amorphous Silicon Thin Film Transistors Using the SiO2 Film )
전자공학회논문지-A
1992 .05
급속 열처리시 실리콘 웨이퍼의 온도분포와 슬립 현상의 해석 ( Analysis of Temperature Distribution and Slip in Rapid Thermal Processing )
대한기계학회 논문집
1992 .04
실리콘 산화막 성장에 대한 TCE의 영향 ( The Influence of Trichloroethylene ( TCE ) on the Thermal Oxidation of Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1982 .01
The Molecular Dynamics Study of Rapid Quenching Fabrication of Amorphous Silicon
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 학술대회
1978 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
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