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실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )
전자공학회지
1979 .03
다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
실리콘 문화 96
CAD 및 VLSI 설계연구회지
1996 .01
화학적 산화막을 이용한 에미터 패시베이션에 관한 연구
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .06
다공질 실리콘을 이용한 저온 산화막의제조
한국재료학회지
1996 .01
통계적 실험계획법을 이용한 HDP-CVD로 증착된 실리콘 산화막 공정조건 최적화에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
실리콘 산화막의 열적질화와 그 MOS특성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1983 .01
공정 조건이 N2O 산화막의 전기적 특성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
실리콘 에칭 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
폐실리콘 슬러지로부터 실리콘 분말의 분리 회수
한국자원리싸이클링학회 학술발표대회
2005 .01
알칼리성 슬러리를 이용한 단결정 및 다결정 실리콘의 화학적 기계적 연마 특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
2011 .01
ILD CMP 공정에서 실리콘 산화막의 기계적 성질이 Scratch 발생에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2011 .01
$N_2$O 분위기에서 RTP로 제조한 실리콘 산화막의 산화 반응
한국재료학회지
1993 .01
폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2004 .01
실리콘 산화막과 폴리 실리콘으로 구성된 passivated contact의 열처리 후 산화막 붕괴와 패시베이션 특성 변화에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .10
ECR plasma를 이용한 실리콘 산화 박막 성장 및 특성연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
금속유도 결정화를 이용한 저온 다결정 실리콘 TFT 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
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