3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기

서용범 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

FT-IR 을 이용한 $SiO_2$ 초박막의 두께 측정 및 Ellipsometry 방법과의 비교연구

서경수 ,  박형호 ,  유병곤 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

수 마이크로 영역에서의 나노 박막 두께 측정을 위한 타원계측법

예상헌 ,  곽윤근 ,  김수현 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

다이나믹 분광타원편광측정 기술 및 응용

김대석 ,  뎀베레 바마라

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

Application of real time spectroscopic ellipsometry to thermal responses of Polymers

강연주 ,  오성준

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

Retardance Measurements Using Rotating Sample and Compensator Spectroscopic Ellipsometry

경재선 ,  방경윤 ,  오혜근 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

비정질 실리콘 n⁺ -p-p⁺ 태양전지의 특성 연구

이이상 ,  김재붕 ,  이영근 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

Mueller Matrix Ellipsometry 제작 및 응용

방경윤 ,  경재선 ,  오혜근 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

비정질 실리콘 반도체의 안정성에 관한 연구 ( A Study on the Stability of Amorphous Silicon Semiconductor )

박진석 ,  이병훈 ,  한민구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

비정질 실리콘 반도체의 안정성에 관한 연구

박진석 ,  이병훈 ,  한민구 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구

이형주 ,  이정환 ,  서주빈 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2006 .01

이온 질량 주입된 비정질 실리콘의 금속 유도 측면 결정화 거동에 관한 연구

김태경 ,  박철호 ,  이병일 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Light-emitting mechanism varying in Si-rich-SiN_x controlled by film's composition

To ,  chynska ,  Tetyana V. 외 8명

Advances in nano research

2017 .01

금속박막의 식각을 이용한 두께형상 측정

조항은 ,  김대수 ,  민병권

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

비정질 실리콘 n+ -p -p+ 태양전지의 특성 연구 ( Characterization of Amorphous Silicon n+ -p -p+ Solar Cells )

이이상 ,  김재붕 ,  이영근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Determination of thickness and optical properties of fluorocarbon thin film on aluminum by a variable angle spectroscopic ellipsometry

Lee ,  Kang-Kuk ,  Kwon 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Detection of Pathogenic Microbe on Protein Microarray Based on Imaging Ellipsometry

Woochang Lee ,  Yong-Wan Kim ,  Young Min Bae 외 3명

한국생물공학회 학술대회

2004 .04