다이나믹 분광타원편광측정 기술 및 응용

김대석 ,  뎀베레 바마라

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

IN - SITU SPECTROSCOPIC STUDIES ON CONDUCTING POLYMERS

박수문

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1989 .04

Determination of thickness and optical properties of fluorocarbon thin film on aluminum by a variable angle spectroscopic ellipsometry

Lee ,  Kang-Kuk ,  Kwon 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Optical Properties of Si1-xGex / Si ( 001 ) quantum Wells Studied by Spectroscopic Ellipsometry

Kwang Joo Kim ,  Woo Bin Song ,  Jae Ho Bahng 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Evaluation of the Surface Anchoring Strength by Means of Renormalized Transmission Spectroscopic Ellipsometry

Kimu ,  a ,  Munehi 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Spectroscopic Ellipsometry Study on the Optical Properties of Strained and Relaxed Si1-xGex

K. J. Kim ,  J. H. Pa ,  k 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometry의 개발 및 응용

이재호 ,  방경윤 ,  박준택 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

Evaluation of LCD device parameters and rubbed surface of Polyimide by means of renormalized spectroscopic ellipsometry

Kimu ,  a ,  Munehi 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Ellipsometry방법에 의한 이온 주입 단결정 실리콘의 비정질층 두께 측정 연구 ( Evaluation of the Amorphous Layer Thickness in Implanted Silicon by Ellipsometry )

이원형 ,  김상기 ,  조경익 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

Mueller Matrix Ellipsometry 제작 및 응용

방경윤 ,  경재선 ,  오혜근 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

수 마이크로 영역에서의 나노 박막 두께 측정을 위한 타원계측법

예상헌 ,  곽윤근 ,  김수현 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구

윤영호 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Retardance Measurements Using Rotating Sample and Compensator Spectroscopic Ellipsometry

경재선 ,  방경윤 ,  오혜근 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구

이형주 ,  이정환 ,  서주빈 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2006 .01

3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기

서용범 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Spectroscopic analysis of p-type doped conductive polymer nano-films and its applications

권민희 ,  김진열 ,  한동규 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

Light-emitting mechanism varying in Si-rich-SiN_x controlled by film's composition

To ,  chynska ,  Tetyana V. 외 8명

Advances in nano research

2017 .01

FT-IR 을 이용한 $SiO_2$ 초박막의 두께 측정 및 Ellipsometry 방법과의 비교연구

서경수 ,  박형호 ,  유병곤 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometer의 개발 및 응용

이재호 ,  방경윤 ,  박준택 외 2명

한국반도체장비학회지

2003 .01