적외선 레이저의 간섭현상을 이용한 실리콘 웨이퍼의 온도 측정 ( Monitoring of Silicon Wafer Temperature by IR Laser Interferometry )

김재성 ,  이석현 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .02

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

파장주사간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼의 절대 두께 측정

김영식 ,  Angela Davies ,  이윤우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

CW 레이저 조사에 의한 실리콘 웨이퍼의 손상 평가

최성호 ,  김정석 ,  장경영 외 1명

대한기계학회 논문집 A권

2012 .10

엑사이머 레이저를 이용한 실리콘웨이퍼의 미세가공

윤경구 ,  이성국 ,  김재구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .05

레이저 유기 충격파를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 클리닝

이종명 ,  조성호 ,  박진구

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

Laser 충격파를 이용한 실리콘웨이퍼 표면에서의 미세 오염입자 제거

강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

나노초 펄스 레이저 응용 사파이어/실리콘 웨이퍼 미세 드릴링

김남성 ,  정영대 ,  성천야

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2010 .02

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

CW 레이저 조사에 의한 실리콘 웨이퍼의 손상 평가

최성호 ,  김정석 ,  장경영 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

태양전지용 실리콘 웨이퍼 표면에서 레이저산란의 광편향 규명에 관한 연구

안병인 ,  김경범

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

적외선 광간섭계 기반의 실리콘 웨이퍼 정밀구조계측

박정재

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

적외선 라인 레이저를 이용한 보행자 수 측정

김형기 ,  이광국 ,  윤자영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

실리콘웨이퍼 평탄도 추정 알고리즘을 위한 디지털 컨텐츠에 관한 연구

송은지

디지털콘텐츠학회논문지

2004 .12

펨토초 펄스 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 두께 및 굴절률의 동시측정

맹새롬 ,  박정재 ,  엄태봉 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교

강전홍 ,  유광민 ,  이상화

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .11

실리콘 웨이퍼의 두께 및 군굴절률의 동시 측정 기술

진종한 ,  맹새롬 ,  박정재 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .10