실리콘 웨이퍼 연삭 가공의 기구학적 모델링과 해석

김상철 ,  이상직 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

Si 웨이퍼의 연삭과 표면특성 평가

이상직 ,  정해도 ,  최헌종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

실리콘 웨이퍼 연삭의 평탄도 특성 평가

김상철 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .11

웨이퍼 연삭 가공 기술의 동향 및 가공 정밀도 향상에 관한 연구

안대균 ,  황징연 ,  이재석 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

실리콘 웨이퍼의 고정밀 연삭에 관한 연구

안대균 ,  황징연 ,  최성주 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

실리콘 웨이퍼 연삭의 형상 시뮬레이션

김상철 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .10

반도체 실리콘의 웨이퍼링 및 정밀연삭공정후 잔류한 기계적 손상에 관한 연구

오한석 ,  이홍림

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .06

반도체 Wafer Back Grinding 공정에서 배출되는 Silicon Recycling 기술 개발

윤대호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2007 .11

웨이퍼 연삭가공에서 형상정밀도 향상을 위한 이론적 모델링에 관한 연구

이상직 ,  강필식 ,  김도연 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

실리콘 웨이퍼의 연삭 결함 분포 평가

김상철 ,  이상적 ,  정해도

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2003 .05

실리콘 웨이퍼의 반경 방향에 따른 연삭 특성 평가

김상철 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

연삭시스템의 최적연삭가공조건

이석우 ,  최영재 ,  허남환 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

실리콘 웨이퍼 연삭 가공 공정 모니터링 시스템

박선준 ,  이상직 ,  정원덕 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

실험적 방법에 의한 연삭특성 평가

최성삼 ,  구양 ,  박노광

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2001 .11

실리콘 연삭력에 관한 연구

이충석 ,  채승수 ,  김종표 외 2명

한국기계가공학회지

2006 .03

평면 연삭 가공시 발생하는 연삭열에 관한 연구 : 해석적 모델

김동길 ,  남원우 ,  이상조

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .01

웨이퍼 연마용 지능형 연삭시스템 개발

김동석 ,  최춘규 ,  하상백 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04

티타늄 합금의 연삭에 관한 연구 : Part 1 : 연삭력, 비연삭에너지, 표면거칠기, 연삭비

김성헌 ,  임종고 ,  하상백 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2000 .10

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

초음파 연삭 가공의 연삭력 특성에 관한 연구

이석우 ,  최영재 ,  박경희 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2011 .11