$RuO_2$ 박막의 비저항

홍석경 ,  문경하 ,  윤찬주 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF 스퍼터링을 이용한 RuO₂ 박막 제작 및 물성 분석

정웅현 ,  조성학 ,  최원석 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .04

MICP에 의한 RuO₂ 박막의 건식 식각 특성

장제욱 ,  이영준 ,  이용혁 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발

박세근 ,  이종근 ,  조수범 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

ICP 식각 시스템에 의한 초전도 스트립 라인의 임계 특성 분석

고석철 ,  한병성 ,  최효상 외 2명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

$\textrm{RuO}_2$ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구

오상호 ,  박찬경 ,  백홍구

한국재료학회지

1998 .01

SiO₂ 식각 특성 개선을 위한 E-ICP와 ICP 식각 비교

정재성 ,  김진우 ,  라상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

RuO₂계 후막저항체의 교류 임피던스특성

구본급 ,  김호기

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

$O_2/CF_4$ ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식식각 기구 연구

이응직 ,  김종삼 ,  김진웅 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RuO2를 전도 매체로한 후막 저항체의 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on Electrical Charateristics of RuO2-Based Thick Film Resistors )

최동욱 ,  김근영 ,  김승민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

RuO₂를 전도 매체로한 후막 저항체의 전기적 특성에 관한 연구

최동욱 ,  김근영 ,  김승민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

D.C Reactive Sputter 법에 의한 $RuO_2$ 박막 제조

선호정 ,  홍권 ,  유상호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Improvement of electrical properties of PZT films on RuO₂ electrodes

Jae-Bok Lee ,  Duck-Kyun Choi

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .11

Thermal과 Plasma 화학기상증착법을 이용한 RuO$_2$박막형성에 관한 연구

김현미 ,  박성언 ,  김기범

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt / RuO2 이중박막의 식각 ( Dry Etching of Pt / RuO2 for Pb ( Zr , Ti ) O3 by High Density Plasma )

이종근 ,  박세근

전자공학회논문지-SD

2000 .03