C₄F₈/O₂ 공정기체와 E-ICP를 이용한 산화막 식각

송호영 ,  조수범 ,  이종근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발

박세근 ,  이종근 ,  조수범 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

평면 광 도파로 제작을 위한 실리카 막의 ICP 식각에 관한 연구 ( ICP etching of silica layers for planar waveguide fabrication )

송형승 ,  정선태 ,  김동수 외 1명

한국통신학회 기타 간행물

1997 .01

평면 광 도파로 제작을 위한 실리카 막의 ICP 식각에 관한 연구 ( ICP Etching of Silica Layers for Planar Waveguide Fabrication )

송형승 ,  정선태 ,  김동수 외 1명

대한전자공학회 기타 간행물

1997 .01

E-ICP에 의한 산화막 식각특성

조수범 ,  송호영 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

초미세 공정에 적합한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 식각 알고리즘 개발 및 3차원 식각 모의실험기 개발

이영직 ,  박수현 ,  송명식 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

ICP 알고리즘의 회전 오차민감도 ( Error sensitivity of rotation angle in ICP algorithm )

김철민 ,  이병욱 ,  박래홍

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ICP 식각 시스템에 의한 초전도 스트립 라인의 임계 특성 분석

고석철 ,  한병성 ,  최효상 외 2명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

ICP with Scaling for Distal Femur Landmark Estimation

Phan Cong-Bo ,  Seungbum Koo

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

ICP 알고리즘을 이용한 2 차원 격자지도 작성

이동주 ,  윤열민 ,  황요섭 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2014 .05

ICP-MS 분석에 의한 공단내 중금속의 농도

이진홍 ,  류영태 ,  남병현

대한환경공학회 학술발표논문집

1997 .12

ICP Etching of RuO2 Thin films

이종근 ,  정형섭 ,  박세근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

콘텐트 중심 네트워킹에서 ICP(Interest Control Protocol)의 성능분석과 개선방안

하지수 ,  이화진 ,  고영배

한국정보과학회 학술발표논문집

2012 .11

Anisotropic Etching of Tungsten with ICP System

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ICP를 이용한 Ar/Cl₂/BCl₃ 플라즈마에서 PZT 식각 특성

안태현 ,  김경태 ,  이영희 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

ICP 알고리즘의 회전 성분 신뢰도 행렬 유도

李炳旭 ,  金哲珉 ,  朴來弘

전자공학회논문지-S

1998 .12