POCl2 도핑 및 비소 이온주입공정으로 제작한 높은 열적 안정성을 갖는 다결정실리콘 저항소자 특성 ( Characteristics of Polysilicon Resistors with High Thermal Stability Fabricated by POCl3 Doping and Arsenic Implantation )

이대우 ,  노태문 ,  구진근 외 1명

전자공학회논문지-D

1998 .07

Fabrication and Characteristics of a Polysilicon Resistor with Low Temperature Coefficient

이태우 ,  노태문 ,  김천수 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

POCl₃ 확산 공정 변화에 따른 도핑 프로파일의 변화 및 에미터 특성의 해석

박현정 ,  박효민 ,  강윤묵 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

P형 in-situ 도핑 폴리실리콘 막질에 관한 연구

오정섭 ,  이상은 ,  노진태 외 3명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

New Method for Estimation of the Grain Boundaries Contribution to the Resistance of Highly Doped Polysilicon

H. G. Chun ,  S. V. Spoutai

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

낮은 에너지의 As₂^(+) 이온 주입을 이용한 얕은 n^(+)-p 접합을 가진 70nm NMOSFET의 제작 ( 70nm NMOSFET Fabrication with Ultra-shallow n+-p Junctions Using Low Energy As₂^(+) Implantations )

최병용 ,  성석강 ,  이용덕 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .02

Polysilicon TFT의 파라미터 추출 ( Parameter Extraction for the Polysilicon Thin Film Transistors )

한승엽 ,  조영호 ,  최연익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Contact 이온주입과 Metal 증착이 다결정 실리콘저항의 면저항에 미치는 영향 ( The Effect of Sheet Resistance of Polysilicon Resistor with Contact Implantation and Metal Deposition )

박종태 ,  최민성 ,  이문기 외 1명

전자공학회논문지

1987 .11

Boron과 Phosphorous 이온주입에 의한 다결정 실리콘 저항의 제조 ( Fabrication of Polysilicon Resistors Compensated with Boron and Phosphorous Ion-Implantation )

김지범 ,  최민성

전자공학회논문지

1987 .09

A Study on Development of Advanced Environmental-Resistant Materials Using Metal Ion Processing

Kazuhisa Fujita ,  Hae-Ji Kim

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .10

Flexible electronics based on polysilicon thin film transistor

Fo ,  tunato ,  G. 외 27명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Study on the characteristic of high precision thin film resistor

Hyun-Sik Pa ,  k ,  Yun-Seop Yu

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

2004 .08

First Principles Study on Hydrolysis of Hazardous Chemicals PCl₃ and POCl₃ Catalyzed by Water Molecules

정현욱 ,  강준희 ,  전호제 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

이온주입 제어에 의한 재료특성 개선에 관한 연구

양영준 ,  이치우 ,  후지타 카즈히사

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .11

Characteristics of Low-Temperature Polysilicon Thin Film Transistors

Kim ,  Young-Ho

한국재료학회지

1995 .01

Ion implantation of Rare-Earth elements in a structure of optical materials

Radjabov T.D. ,  Simonov A.A.

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

2008 .06

The Effects of Texture on the Young`s Modulus of Polysilicon

이상우 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성

박창준 ,  서용진 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Polysilicon Thin Film Transistors : 소자 기술 및 특성 ( Polysilicon Thin Film Transistors : Device Technology and Characteristics )

한철희

대한전자공학회 학술대회

1992 .01