재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  김형준 ,  엄대홍 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

CMP 슬러리의 분산성 향상에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of the Slurry Dispersibility in CMP )

조성환 ,  김형재 ,  김호윤 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2001 .10

전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화

이다솔 ,  이현섭 ,  정선호 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .05

Filter를 사용한 재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  엄대홍 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

CMP슬러리 산업동향

한국전자산업진흥회

전자진흥

2004 .01

구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가

이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .10

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향

서용진 ,  박창준 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Slurry의 pH가 CMP특성에 미치는 영향

정해도 ,  김경준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성

이우선 ,  서용진 ,  고필주 외 2명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

CMP용 Slurry Particle간의 상호작용에 대한 연구

이상호 ,  김형균 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구

金東一 ,  許宗坤 ,  尹寬基 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )

김동일 ,  허종곤 ,  윤관기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향

장수천 ,  유민종 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

슬러리 분산 및 pH Oxide CMP에 미치는 영향

한성민 ,  박성우 ,  이우선 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

사파이어 CMP공정에서 슬러리 희석비에 따른 연마율과 표면조도 변화에 관한 연구

박철진 ,  김형재 ,  김도연 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05