Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )

김동일 ,  허종곤 ,  윤관기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  김형준 ,  엄대홍 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구

권대희 ,  김형재 ,  정해도 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .10

패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구

문원하 ,  이재경 ,  황호정

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

CMP 공정의 설비요소가 공정 결함에 미치는 영향

朴成祐 ,  丁韶暎 ,  朴昌準 외 5명

전기학회논문지 C

2002 .05

CMP개론 및 현황

박진구

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

CMP공정에서의 종점 검출 기술 현황

김승우 ,  김기홍

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

산화막 CMP 에서 압력조건이 웨이퍼 가장자리 연마율에 미치는 영향

안준호 ,  유민종 ,  김형재 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs

Sun-Joon Pa ,  k ,  Boum-Young Pa 외 4명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링

김현진 ,  박병준 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구

김형재 ,  권대희 ,  정해도 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .03

초음파를 이용한 Metal CMP의 Conditioning에 관한 연구

이성훈 ,  정해도 ,  안대균

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화

서용진 ,  김상용 ,  이경진

전기전자재료학회논문지

2002 .01

CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향

이현섭 ,  박범영 ,  김구연 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2004 .11

Filter를 사용한 재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  엄대홍 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

CMP 공정에 의해 제작된 전계 방출기의 최적 설계에 관한 연구

김귀현 ,  신양호 ,  박진석

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

CMP 공정 후의 오염 제어

박진구 ,  이상호 ,  김형균

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

입자스케일 유한요소모델에 의한 CMP공정 해석

곽하슬로미 ,  성인하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2012 .04