고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 열질화 효과 ( Thermal Nitridation Effects of Ultrathin Oxides Grown By High Pressure Oxidation )

노태문 ,  이대우 ,  박종문 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

급속열질화에 의한 고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 특성개선 ( Improvement of Thin Oxide Grown by High Pressure Oxidation using Rapid Thermal Nitridation )

노태문 ,  이대우 ,  송윤호 외 4명

전자공학회논문지-D

1997 .08

Electrical Characteristics of Thin Oxide Grown by High-Pressure Oxidation with Rapid Thermal Nitridation

노태문 ,  이대우 ,  송윤호 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Rapid Thermal Nitridation Effets on Ultrathin Oxides Grown by High Presure Oxidation for ULSI Device Applications

Tae Moon Roh ,  Dae Woo Lee ,  Jong Moon Pa 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

급속열산화법에 의한 실리콘 산화막의 특성 ( Characteristics of Silicon Oxide Films Grown by Rapid Thermal Oxidation )

이귀연 ,  양두영 ,  이정용

전자공학회논문지-A

1991 .12

저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조

고천광 ,  이원규

화학공학

2008 .01

Hot Carrier Effect of n-MOSFET with Ultrathin Oxides Grown by High Pressure Oxidation and Nitrided in N2O

Tae Moon Roh ,  Dae Woo Lee ,  Jong Dae Kim 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

SiO2박막의 열적 질화 ( Thermal Nitridation of Thin SiO2 Film )

이용수 ,  이용현 ,  손병기

전자공학회논문지

1988 .11

MOCVD법에 의한 GaN에 미치는 사파이어($Al_{2}$$O_{3}$) 질화 처리 효과

정재식 ,  변동진 ,  김병호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

고주파 유도 가열에 의한 Si의 열적질화 ( Thermal Nitridation of Si by RF Induction Heating )

이용현 ,  왕진석

전자공학회논문지

1990 .09

급속 열처리에 의한 SiO2의 질화 ( Rapid Thermal Nitridation of SiO2 )

이용현 ,  왕진석

전자공학회논문지

1990 .05

$N_2O$ 분위기에서 열산화법으로 성장시킨 $SiO_2$초박막의 전기적 특성

강석봉 ,  김선우 ,  변정수 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

Thermal property of ultrathin polymer films

시윤기 ,  차준희 ,  장태현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1999 .04

상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 부분산화공정의 물성 및 전기적 특성에 관한 연구 ( Study on the Material and Electrical Characteristics of the New Semi-Recessed LOCOS by Room Temperature Plasma Nitridation )

이병일 ,  주승기

전자공학회논문지

1989 .04

ECR 플라즈마 질화에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Formed by ECR Plasma Nitridation )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

열처리 전후의 질화막에 대한 습식산화의 효과

윤병문 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

실리콘 산화막의 열적질화와 그 MOS특성에 미치는 영향

이정희 ,  이종현 ,  손병기

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

$N_2$O 분위기에서 RTP로 제조한 실리콘 산화막의 산화 반응

박진성 ,  이우성 ,  심태언

한국재료학회지

1993 .01