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실리콘 이종접합 태양전지에서의 산화막과 질화막의 영향에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 학술대회
1978 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
질화된 MOS 커패시터의 C-T 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
질화된 MOS커패시터의 C-T특성 ( C-T Characteristics of Nitridized MOS Capacitor )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
얇은 Si 산화막을 지닌 MOS 구조의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1984 .07
질화처리의 기초와 질화계처리
열처리공학회지
2008 .01
MOS 구조의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1986 .07
플라즈마 실리콘 질화막의 전기적 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
1989 .12
얇은 열산화-질화막의 특성평가 ( Evaluation of Characteristics of Oxidized Thin LPCVD-Si3N4 Film )
전자공학회논문지-A
1992 .09
플라즈마 식각 공정이 N2O 산화막과 순수한 산화막을 갖는 MOS 소자 특성에 미치는 영향에 관한 연구 ( A Study on the Effect of Plasma Etching Process on the Characteristics of MOS Devices with N2O and Pure Gate Oxides )
전자공학회논문지-A
1996 .09
동작속도가 빠른 Mo2N/Mo 게이트 MOS 집적회로 ( High Speed Mo2N/Mo-Gate MOS Integrated Circuit )
전자공학회지
1985 .07
ECR 플라즈마 질화에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Formed by ECR Plasma Nitridation )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
전계 방출 소자용으로 제조한 단결정 실리콘 기판에 증착된 실리콘 질화막에 대한 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
다공질 실리콘 질화막의 제조 ( Fabrication of Porous Silicon Nitride )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
질화실리콘막을 사용한 표면보호층 구조에 관한 연구 ( Passivation Layer Structures with a Silicon Nitride Film )
전자공학회지
1985 .11
질소 가스 분위기에서 증착된 실리콘 질화막의 전기적, 광학적 특성 분석
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2009 .11
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