실리콘 산화막의 열적질화와 그 MOS특성에 미치는 영향

이정희; 이종현; 손병기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이정희 이종현 손병기

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (반도체/재료부품/CAD/VLSI) 제2권 1호

발행연도: 1983.1

수록면: 45 - 48 (4page)

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