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The paper presents the comparative results of NbN coatings deposited by DC and pulsed DC asymmetric bipolar magnetron sputtering systems. The results show that, with the decreasing duty cycle and increasing pulse frequency, the coating morphology changes from a columnar to a dense structure, with finer grains. The Pulsed sputtered NbN coatings showed higher hardness, higher residual stress, and smaller grain sizes than those of DC prepared NbN coatings. Moreover residual stress of pulsed sputtered NbN coatings increased on increasing pulse frequency. Meanwhile, the surface roughness decreased continuously with increasing pulsed DC frequency up to 50 kHz.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (22)
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[학술지(정기간행물)] - 전성용 / 2014 / DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 제작된 CrN 코팅막의 물성 비교연구 / 한국표면공학회지 47 (2) : 86 ~ 92
[학술지(정기간행물)] - 전성용 / 2014 / DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 TiAlN 코팅막의 물성 비교연구 / 한국표면공학회지 47 (4) : 168 ~ 173
[학술지(정기간행물)] - 이수영 / 2011 / 마그네슘 압출용 금형의 내마모성 향상을 위한 CrN, TiN 코팅 / 한국표면공학회지 44 (6) : 233 ~ 238
[학술지(정기간행물)] - M. A. Mamun / 2012 / / Appl. Surf. Sci 258 : 4308 ~
[학술지(정기간행물)] - V. N. Zhitomirskyae / 2012 / / Appl. Surf. Sci 258 : 4308 ~
[학술지(정기간행물)] - 전성용 / 2014 / DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 TiAlN 코팅막의 물성 비교연구 / 한국표면공학회지 47 (4) : 168 ~ 173
[학술지(정기간행물)] - 이수영 / 2011 / 마그네슘 압출용 금형의 내마모성 향상을 위한 CrN, TiN 코팅 / 한국표면공학회지 44 (6) : 233 ~ 238
[학술지(정기간행물)] - M. A. Mamun / 2012 / / Appl. Surf. Sci 258 : 4308 ~
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