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NbN coatings were prepared by ICP (inductively coupled plasma) assisted magnetron sputtering from a Nb metal target in Ar+N2 atmosphere at various ICP powers. Effect of ICP on the microstructure, crystalline structure and mechanical properties of NbN coatings was investigated by field emission electron microscopy, X-ray diffraction, atomic force microscopy and nanoindentation measurements. The results show that ICP power has a significant influence on coating microstructure, structure and mechanical properties of NbN coatings. With the increasing of ICP power, coating microstructure evolves from the columnar structure of DC process to a highly dense one. Crystalline structure of NbN coatings were changed from cubic δ-NbN to hexagonal β-Nb2N with increase of ICP power. The maximum nano hardness of 25.4 GPa with Ra roughness of 0.5 nm was obtained from the NbN coating sputtered at ICP power of 200 W.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (19)
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[학술지(정기간행물)] - 정상옥 / 2013 / 해양 환경 하에서 431 스테인리스강의 하이브리드 실험을 통한캐비테이션 손상 거동 / 한국표면공학회지 46 (6) : 271 ~ 276
[학술지(정기간행물)] - 윤석영 / 2005 / Ti-Al-Si-N 코팅막의 마모거동에 미치는 Si 함량의 영향 / 한국세라믹학회지 42 (2) : 15 ~ 31
[학술지(정기간행물)] - U. Diebold / 2003 / / Surf. Sci. Rep 48 : 53 ~
[학술지(정기간행물)] - M. Aliofkhazraei / 2014 / / Comprehensive Materials Processing 7 : 49 ~
[단행본] - A. S. H. Makhlouf / 2011 / Nanocoatings and Ultra-Thin Films / Woodhead Publishing Limited : 159 ~ 181
[학술지(정기간행물)] - 윤석영 / 2005 / Ti-Al-Si-N 코팅막의 마모거동에 미치는 Si 함량의 영향 / 한국세라믹학회지 42 (2) : 15 ~ 31
[학술지(정기간행물)] - U. Diebold / 2003 / / Surf. Sci. Rep 48 : 53 ~
[학술지(정기간행물)] - M. Aliofkhazraei / 2014 / / Comprehensive Materials Processing 7 : 49 ~
[단행본] - A. S. H. Makhlouf / 2011 / Nanocoatings and Ultra-Thin Films / Woodhead Publishing Limited : 159 ~ 181
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