용액 공정 기반 ZrO2 절연막을 사용한 IGZO 박막 트랜지스터의 전기적 특성 향상 연구

이나영; 최병덕

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저자정보: 이나영 (성균관대학교) 최병덕 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제49회 하계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.8

수록면: 215 - 215 (1page)

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