Analysis of Electron Conduction Behaviors of ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ Dielectrics

Gaeun Lee; Byoung Deog Choi

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Gaeun Lee (Sungkyunkwan University) Byoung Deog Choi (Sungkyunkwan University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2019.8

수록면: 179 - 179 (1page)

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Electrical characteristics of multi-stacked ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ capacitors

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2019

Analysis of Electron Conduction Behaviors of ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ Dielectrics

Gaeun Lee , Byoung Deog Choi 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.08 학술대회자료

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#ZrO₂ #Al₂O₃ #MIM capacitors #conduction mechanism

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Byoung-deog Choi

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