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용량결합형 플라즈마의 turn-off 후 잔류전위 측정 및 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
축전 결합 플라즈마에서 병렬 인덕터를 이용한 플라즈마 발생 효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
진공 플라즈마의 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
용량성 결합 플라즈마의 이온 에너지 분포 함수 및 이동도에 대한 Particle-in-Cell 및 유체 시뮬레이션의 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
60 ㎒ CCP에서의 전류 고조파 성분과 플라즈마 밀도 분포의 관계에 대한 실험적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
젯 어레이 형 대기압 플라즈마의 처리 방식이 자궁경부암 세포에 미치는 영향 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
정전용량 변화를 이용한 대기압 제트 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
1차원 입자-셀 시뮬레이션을 이용한 RF 용량성 결합 플라즈마의 전자 가열 및 전자에너지 분포 변화 양상 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
용량성 결합 플라즈마에서 위상분해광방출 진단법을 이용한 전자가열 및 전자빔 거동 이해와 이를 통한 새로운 플라즈마 밀도 측정 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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