용량결합형 플라즈마에서의 유전체 기판 표면 전위분포 연구 :Study on electric potential profile of dielectric substrate in capacitively coupled plasma source

윤용수

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자료유형: 학위논문

저자정보: 윤용수 (부산대학교, 부산대학교 대학원)

지도교수: 이호준

발행연도: 2016

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2016

용량결합형 플라즈마에서의 유전체 기판 표면 전위분포 연구

윤용수 전자전기컴퓨터공 2016.01 학위논문

2015

용량 결합형 플라즈마의 유전체기판의 잔류전위 양상 관찰

윤용수 , 위성석 , 김동현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

용량결합형 플라즈마의 turn-off 후 잔류전위 측정 및 모델링

윤용수 , 위성석 , 서권상 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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There are several problems, micro arc discharges, remaining static electricity in cleaning, dry etching and sputtering process which use plasma. These problems causing breakdown of process materials and damage to electric device can increase fraction defective. Accumulation of charges that ease in relatively long time on substrate surface make remaining static electricity observed well at surface of dielectric substrate used for the insulation purpose. In this study, we measured electric potential profile transiting in time of substrate surface in capacitively coupled plasma source chamber structured cylinderical parallel-plates electrode. In similar and smaller geometry, Fluid simulation is conducted to compare with measurement. Consequentially, The remaining time, sign(+,-) and voltage level of static electricity after turning off plasma depend on geometry and capacitance of dielectric substrate.

#플라즈마 #유전체기판 #유체시뮬레이션

1. 서론 1
2. 이론적 배경 3
2-1. 플라즈마 3
2-2. 용량결합형 플라즈마 발생장치 7
2-3. 플라즈마 세정공정 10
3. 실험 장치 및 시뮬레이션 방법 16
3-1. 용량결합형 플라즈마 발생 장치 실험 개요 16
3-2. 유체 시뮬레이션(Fluid simulation) 19
4. 실험 및 시뮬레이션 결과 24
4-1. 용량결합형 플라즈마 장치에서 측정한 기판표면 전위 24
4-2. 유체 시뮬레이션에서 나타나는 기판과 전극부분의 전위분포 24
5. 결론 39
6. 참고 문헌 41

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