저가의 MCU를 사용하여 HSMS 통신 시스템 설계 및 구현

김수희

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김수희 (호서대학교)

저널정보: 한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 한국정보통신학회논문지 제19권 제12호

발행연도: 2015.12

수록면: 2,820 - 2,827 (8page)

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저가의 MCU를 사용한 HSMS 구동 시스템은 반도체 설비 온라인 시스템 구축에는 없어서는 안 될 필수적인 기술이다. HSMS는 더 빠른 속도의 통신이 필요하고 장비 하드웨어 구성이 용이한 어플리케이션을 위해 SECS-I 대신에 많이 사용된다. 기존의 SECS와 HSMS 디바이스는 SECS의 전반적인 프로토콜 구현되어 있어서 매우 고가이다. 이 연구에서는 기업에서 필요로 하는 SECS 프로토콜만을 지원하는 HSMS 통신 시스템을 설계하고 구현하고자 한다. 저가이지만 고성능 MCU를 메인 보드로 하여 HSMS 통신을 처리하는 모듈을 설계하고, BCR을 독립적으로 처리 할 수 있는 회로를 초소형 MCU를 이용하여 설계한다. 그리고 BCR로부터 인식된 태그 데이터를 HSMS 통신 프로토콜에 부합하는 데이터로 변환하기 위해 SECS-II 메시지를 설계한다. 이 설계들을 반영한 HSMS 통신 시스템을 개발한다. 개발한 저가의 HSMS 통신 모듈은 반도체 공정에 대한 실시간 감시 및 제어 시스템에 적용될 수 있다.

#임베디드 #MCU #BCR #센서 #HSMS #Embedded #SENSOR

참고문헌 (10)

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[기타자료] - SEMI E37-0298 / 1998 / HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES / SEMI

[기타자료] - SEMI E4 / 1999 / SEMI Equipment Communications Standard 1Message Transfer (SECS-I) / SEMI

[기타자료] - SEMI E5 / 2009 / SEMI Equipment Communications Standard 2Message Content SECS-II / SEMI

[단행본] - Andrew N.Sloss / 2004 / ARM System Developer's Guide / SciTech

[인터넷자원] - / / http://www.atmel.com/images/Atmel_32-bit-ARM7TDMI Flash-Microcontroller_SAM7X512-256-128_Datasheet. pdf

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