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저자정보
송정기 (서강대학교) 이재설 (서강대학교) 이정철 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 70주년 기념 학술대회
발행연도
2015.11
수록면
613 - 616 (4page)

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This paper reports fabrication of sub-20 ㎚ hydrogel microcantilevers based on replica molding and O2 plasma ashing and their comparable imaging capability with silicon counterparts. First, hydrogel microcantilevers were fabricated with poly(ethylene glycol) diacrylate (PEGDA) using a polydimethylsiloxane (PDMS) cantilever mold via UV crosslinking along with capillary force induced filling into the mold. Second, Pyramid mold was integrated to the free-end of the hydrogel microcantilevers. PEGDA was dispensed into the pyramid mold, bi-axially compressed for 10~20% strain, aligned with the tipless hydrogel microcantilever, and UV cured. Third, tip radius of hydrogel microcantilevers was improved to be sub-20 ㎚ by O2 plasma ashing. Tip radius decrease depending on initial tip radius was characterized by varying the time for plasma ashing. Finally, topography of anodized aluminum oxide (AAO) (width 50 ㎛, depth 2 ㎛) was imaged in non-contact (NC) mode. Sharp hydrogel tip is shown to be free of degradation while imaging in NC mode.
#Hydrogel (하이드로젤) #Atomic force microscope (원자현미경) #Microcantielver (미소캔틸레버) #O2 Plasma ashing (산소 플라즈마 식각)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 공정
3. AAO 기판 이미징
4. 결론
참고문헌

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