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학술대회자료
저자정보
김광석 (서강대학교) 김석범 (서강대학교) 이정철 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2016년도 학술대회
발행연도
2016.12
수록면
1,027 - 1,030 (4page)

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This paper reports novel fabrication methods to fabricate the hydrogel nanoprobes for atomic force microscopy with sub-30 nm apex of tip radius applying nano-mold technology. The intrinsic property of polydimethylsiloxane (PDMS) limits the soft lithography fabrication of hydrogel tip lower than 100 nm of radius by replicating the inverse pyramid structure from silicon KOH etching. To overcome the existing tip radius issues prevailing in hydrogel cantilevers with soft lithography techniques, we applied one-time nanoprobes fabrication method utilizing the silicon tip directly after deposition of metal under 10 nm coating to modify the wetting characteristic of PEG-DA pre-polymer. PDMS mold of beam and base were aligned right on the metal coated silicon tip and a subsequent single UV exposure was carried out after filling PEG-DA pre-polymer solution. This suggested method could fabricate hydrogel probe with sub-30 nm apex for high yield as 80%. Thus fabricated PEG-DA AFM hydrogel probes were used for nanoscale imaging of anodized aluminum oxide (AAO) with pore size of 70 nm.
#Hydrogel(하이드로젤) #Atomic force microscope(원자현미경) #Polymeric probe(폴리머 탐침)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 공정
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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