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저자정보
진종한 (한국표준과학연구원) 박정재 (한국표준과학연구원) 안흘비 (과학기술연합대학원대학교) 배재석 (과학기술연합대학원대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 70주년 기념 학술대회
발행연도
2015.11
수록면
1,128 - 1,129 (2page)

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2017

차세대 반도체/디스플레이 공정을 위한 정밀 형상 측정
진종한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017.05 학술대회자료

2015

펨토초 펄스 레이저를 이용한 반도체/디스플레이 공정에서의 정밀 형상 측정 기술
진종한 ,  박정재 ,  안흘비 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2015.11 학술대회자료

2012

펨토초 펄스 레이저를 이용한 반도체 패키지 비아홀 고속 깊이 측정
진종한 ,  이성헌 ,  맹새롬 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.05 학술대회자료

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#Optical metrology (광계측) #Depth (깊이) #Physical thickness(물리적 두께) #Silicon wafer (실리콘 웨이퍼) #Diameter(지름)

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진종한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017 .05
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강형식 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022 .12
다중 대상의 절대거리 측정을 위한 반도체 광 증폭기 기반 비등기 광 샘플링
장재영 ,  김승우 ,  김영진 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021 .11
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