펨토초 레이저의 표면상 삼차조화파를 활용한 실리콘 웨이퍼의 측정 기술

이인재 ,  김대희 ,  김영진

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Development of a High-Speed Depth Measuring Machine for through Silicon Vias on a 300 mm Silicon Wafer

홍순천 ,  윤석민 ,  우봉주 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .05

펨토초 펄스 레이저를 이용한 반도체/디스플레이 공정에서의 정밀 형상 측정 기술

진종한 ,  박정재 ,  안흘비 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술

박주현 ,  강주식 ,  이재용

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

퓨리에 변환 분광기를 이용한 실리콘 웨이퍼 두께 측정

박영원 ,  이주형

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

SiC 웨이퍼 박형화를 위한 펄스 레이저 기반 내부 가공 공정 연구

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

펨토초 펄스 레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정 연구

윤하영 ,  강수민 ,  임재승 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .12

펨토초 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 드릴링의 공정 최적화 연구

김형원 ,  기형선

대한용접·접합학회지

2019 .06

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements

C.-S. Kang ,  A. P. D ,  ija 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구

김상연 ,  김경범

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

Design of Gaussian Phase-shifting Algorithm for Surface Profile Measurement of a Silicon Wafer

J. C. Bae ,  J. Y. Yun ,  H. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

고조파 위상 반복 분석법과 파장 주사 간섭법을 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정

김성태 ,  김양진

대한기계학회 논문집 A권

2022 .06

고조파특성분석을 통한 수용가 고조파발생량 추정에 관한 연구

김경철 ,  고훈

조명·전기설비학회논문지

2016 .05

폐태양전지로부터 고순도 은(Ag)과 구리(Cu) 회수 및 실리콘 웨이퍼(Silicon wafer) 회수

최주환 ,  유광용

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

Laser-based internal modification process for SiC wafer thinning

Jae-Seung Lim ,  Seungman Kim ,  Jae-hak Lee 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2020 .10