원자현미경의 Z축 나노스테이지 비선형성 제거를 위한 연구

김준섭; 정지성; 윤여민; 박기환

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저자정보: 김준섭 (Gwangju Institute of Science and Technology) 정지성 (Gwangju Institute of Science and Technology) 윤여민 (Gwangju Institute of Science and Technology) 박기환 (Gwangju Institute of Science and Technology)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 70주년 기념 학술대회

발행연도: 2015.11

수록면: 3,661 - 3,662 (2page)

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#Atomic force microscope #Nonlinearity #Self-Calibration #Strain gage sensor #Z axis PZT nano stage

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