원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

원자층 증착법의 성장온도에 따른 산화아연 기반 투명 유연 자외선 검출기의 광전류에 대한 연구

최종윤 ,  이건우 ,  나영채 외 4명

전기전자재료학회논문지

2022 .01

Electrical and Optical Properties of Ti-ZnO Films Grown on Glass Substrate by Atomic Layer Deposition

이우재 ,  김태현 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature

Suyeon Kim ,  Seung-Hun Lee ,  In Ho Jo 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가

황성태 ,  송승학 ,  최병호

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준 ,  최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가

김태남 ,  안지훈 ,  이지은 외 3명

대한환경공학회 학술발표논문집

2018 .11

원자층 증착법을 이용해 제작한 TiO₂/ZnO 이종접합 박막의 광분해 특성

박지영 ,  최병준

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

Effect of Thickness on Flexible, Electrical and Optical properties of Ti-ZnO films on Flexible Glass by Atomic Layer Deposition

이우재 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

Low-resistivity Molybdenum Nitride Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

하민지 ,  최정훈 ,  안지훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11