선택적 식각 공정을 이용한 마이크로-나노 계층 구조 제조

한수호 ,  황희윤

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술

이민영 ,  이승훈 ,  김관오 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

플라즈마 식각 공정을 통한 선택형 광 흡수/방사 메타 구조체 연구

윤보람 ,  김태환 ,  배지열 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

마스크 없이 습식식각으로 제작된 대면적/불규칙 마이크로패턴의 광 확산 적용

신태환 ,  한의돈 ,  박용민 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .11

High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process

Seung Deok Kim ,  Maeum Han ,  Jae Yong Lee 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

습식 에칭 공정에서의 안전관리 자동화에 관한 연구

조재훈 ,  손영득 ,  위상봉

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .04

Development of apparatus for Single-sided Wet Etching and its applications in Corrugated Membrane Fabrication

김준수 ,  문원규

센서학회지

2021 .01

Fabrication of High-Aspect-Ratio Microchannel Using Anisotropic Wet Etching and Mechanical Alignemnt

Y. H. Cho ,  D. -K. Lee ,  H. S. Kim 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

광 포획 향상을 위한 다중 아키텍처 식각 기술을 적용한 박막 실리콘 태양전지에 관한 연구

박형식 ,  이준신

전기전자재료학회논문지

2024 .05

HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각

최병수 ,  엄지훈 ,  엄해지 외 5명

한국결정성장학회지

2022 .02

Large-area {110} micromirror based on anisotropic wet etch

Dae-Gon Kim ,  Sunghyun Yoo ,  Chang-Hyeon Ji 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

습식 에칭 공정에서의 과산화수소 이상반응 대책에 관한 연구

유흥렬 ,  강기호 ,  위상봉 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .04

비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작

강동균 ,  편도원 ,  이해석 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2022 .04

이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구

김두산 ,  이원오 ,  박진우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석

김무중 ,  박성은 ,  강민구 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

구리 보호층을 이용한 전해에칭에서의 다층구조 제작

신홍식

한국기계가공학회지

2019 .02