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Wet etching is more economical than dry etching and provides a uniform etching depth regardless of wafer sizes. Typically, potassium hydroxide (KOH) and tetra-methyl-ammonium hydroxide (TMAH) solutions are widely used for the wet etching of silicon. However, there is a limit to the wet etching process when a material deposited on an unetched surface reacts with an etching solution. To solve this problem, in this study, an apparatus was designed and manufactured to physically block the inflow of etchants on the surface using a rubber O-ring. The proposed apparatus includes a heater and a temperature controller to maintain a constant temperature during etching, and the hydrostatic pressure of the etchant is considered for the thin film structure. A corrugation membrane with a diameter of 800 μm, thickness of 600 nm, and corrugation depth of 3 μm with two corrugations was successfully fabricated using the prepared device.
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D. T. Martin / 2007 / A micromachined dual-backplate capacitive microphone for aeroacoustic measurements / J Microelectromech. Syst. 16(6):1289~1302
A. Ravi Sankar / 2013 / A very-low cross-axis sensitivity piezoresistive accelerometer with an electroplated gold layer atop a thickness reduced proof mass / Sens. Actuators A 189:125~133
H. Nazemi / 2019 / Advanced Micro- and Nano-Gas Sensor Technology: A Review / Sensors 19(6):1285(1)~1285(23)
S. Saadon / 2011 / A review of vibration-based MEMS piezoelectric energy harvesters / Energy Convers. Manag. 52(1):500~504
M. Pedersen / 1997 / A silicon condenser microphone with polyimide diaphragm and backplate / Sens. Actuators A 63(2):97~104
A. Ravi Sankar / 2013 / A very-low cross-axis sensitivity piezoresistive accelerometer with an electroplated gold layer atop a thickness reduced proof mass / Sens. Actuators A 189:125~133
H. Nazemi / 2019 / Advanced Micro- and Nano-Gas Sensor Technology: A Review / Sensors 19(6):1285(1)~1285(23)
S. Saadon / 2011 / A review of vibration-based MEMS piezoelectric energy harvesters / Energy Convers. Manag. 52(1):500~504
M. Pedersen / 1997 / A silicon condenser microphone with polyimide diaphragm and backplate / Sens. Actuators A 63(2):97~104
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