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In order to form an aluminum-doped zinc oxide (AZO) transparent electrode film on a polyethylene terephthalate (PET) substrate used for a flexible display substrate, the AZO transparent electrode was produced at low temperature without substrate heating. Even though the produced electrode showed characteristic optical transmittance of 90 % (at 550 nm) and sheet resistance within 100 Ω/sq, cracks occurred 10 minutes after loading applied 2 mm radius of curvature, and the sheet resistance increased linearly. An insertion layer of ZrCu was formed between the AZO film and the PET substrate to suppress the generation of cracks on the AZO film. It was verified that the crack was not generated 30 minutes after the loading of 2 mm radius of curvature, and no increase in sheet resistance was recorded. There was also not cracks in the dynamic bending test of 4 mm radius, but surface resistance was slightly increased. As a result, the ZrCu insertion film improved the interfacial adhesion between the substrate and AZO film layer without increasing sheet resistance and decreasing transmittance.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental procedure
3. Results and Discussion
4. Conclusions
References
참고문헌 (14)
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[학술지(정기간행물)] - J. van den Brand / 2008 / Systems-in-foil – Devices, fabrication processes and reliability issues / Microelectron. Reliab 48 : 1123 ~ 1128
[학술지(정기간행물)] - L. Li / 2013 / The effect of oxygen ion beam bombardment on the properties of tin indium oxide/polyethylene terephthalate complex / Thin Solid Films 545 : 365 ~ 370
[학술지(정기간행물)] - D. Y. Lee / 2008 / Study on In–Zn–Sn–O and In–Sn–Zn–O films deposited on PET substrate by magnetron cosputtering system / Surf. Coat. Technol 202 : 5718 ~ 5723
[학술지(정기간행물)] - Y. S. Kim / 2011 / Mechanical reliability of transparent conducting IZTO film electrodes for flexible panel displays / Appl. Surf. Sci 257 : 8134 ~ 8138
[학술지(정기간행물)] - Y. S. Kim / 2013 / Mechanical Integrity of Flexible In–Zn–Sn–O Film for Flexible Transparent Electrode / Jpn. J. Appl. Phys. 52 : 05DA17 ~
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