PZT Sputtering Target제작과 RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 PZT박막제작

정상묵; 임실묵

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정상묵 (한국산업기술대학교) 임실묵 (한국산업기술대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 211 - 211 (1page)

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2009

RF-Magnetron Sputtering System을 이용하여 제작한 mono-layer PZT박막과 Bi-layer PZT박막의 전기적 특성평가와 두께별 성분함량에 관한 연구

정상묵 , 박영웅 , 이경우 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.05 학술대회자료

RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 Bi-layer PZT박막제작과 특성평가

정상묵 , 임실묵 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

PZT Sputtering Target제작과 RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 PZT박막제작

정상묵 , 임실묵 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

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소속기관 한국산업기술대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 70

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논문수 2 이용수 70

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