지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
저온.상압 공정 기반 멀티 슬릿 구조의 원자층 증착 헤드 개발에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition (ALD)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
환경 센서의 Encapsulation 을 위한 공간분할형 원자층 증착 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
Role of a PVA layer During lithography of SnS<sub>2</sub> thin Films Grown by Atomic layer Deposition
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2018 .12
유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Atomic Layer Deposition for Energy Conversion and Storage Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
0