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김효태 (제주대학교) 최경현 (제주대학교) 양영진 (제주대학교) 김영수 (제주대학교) Jagadeesan Srikanth (제주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2016.10
수록면
515 - 516 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2016.12 학술대회자료
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.10 학술대회자료

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#Atomic layer deposition #TMA #Thin film

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